盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立于2005年，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业。公司集研发、设计、制造、销售于一体，主要产品有清洗设备(包括单片、槽式、单片槽式组合、CO2超临界清洗、边缘和背面刷洗)、半导体电镀设备（前道大马士革铜互连电镀、TSV电镀、先进封装电镀）、立式炉管系列设备(包括氧化、扩散、真空回火、LPCVD、ALD)、前道涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、化合物半导体设备、扇出型面板级封装设备以及硅材料衬底制造工艺设备等，致力于为全球集成电路行业提供高端的设备及工艺解决方案。